哈氏合金C276材质的MY三合一过滤机克服了液氨、高腐蚀溶液、微细颗粒苛刻工况，在半导体材料生产中得到应用。液氨在化工领域应用广泛，但具有高毒性、易燃易爆、强腐蚀性等危险特性，对设备要求极高，其安全性管理是生产环节重中之重。本次哈氏合金C276材质的MY三合一过滤机除采用了高精度过滤介质、机械密封与波纹管组合等安全结构外，还应用了泄漏状态、温度压力等关键因素监测以及与生产流程、设备运行状态实现安全联锁，较好的实现了上述危险工况下的安全生产。
