氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料，以高硬度、高强度、耐高温、抗腐蚀、抗氧化等优异的机械性能，使其成为制作半导体器件的理想材料，应用于芯片制造领域，如集成电路中的绝缘层、电容器、电阻器等。氮化硅还具有良好的耐辐照性能，在航天、核能等领域应用广泛。此外，氮化硅还用于制造轴承、汽轮机叶片、机械密封环、永久性模具等机械构件。
制备高纯度氮化硅粉末多采用氨解法，即原料液氨、溶剂与四氯化硅反应，得到前驱体，再对前驱体进行除杂后高温烧结，得到非晶氮化硅粉末，对非晶氮化硅粉末进行结晶化处理，最终得到所需晶相的氮化硅粉末。
国机通用研制的MY多功能三合一机在氮化硅前驱体过滤除杂中发挥关键作用。应用过程中，需要用液氨进行洗涤，液氨具有高毒性、易燃易爆、强腐蚀性等危险特性，对设备要求极高。为此，MY多功能三合一机在设备选材、主轴机封型式、刮刀桨叶结构、滤网固定方式等方面进行了专门设计。同时，针对液氨特性，还在安全性可靠性方面进行了状态监测、关键数据实时反馈等针对性配置。很好的实现了安全可靠生产。在氮化硅前驱体的液氨洗滤中发挥关键作用。
